Professional Manufacturer of
CMP Consumables

產品介紹

CMP PAD 研磨墊產品

iVT的研磨墊主要分為 HV 與 GV 系列產品。 HV 系列產品具有高研磨速率、良好defect表現，與較長的使用壽命。 GV 系列產品具備高平坦化效率、良好defect表現，以及優異的研磨穩定性。我們擁有從原料開發到自主加工的一條龍技術，不論是材料物性與溝槽設計，皆可提供客戶客製化的產品需求。

應用範圍：CMP process，包含 OX、W、Cu、Poly、Buffing

SOFT PAD 拋光墊產品

iVT Soft Pad 拋光墊包含 JK 與 JOHO系列產品應用於半導體與光電產業的精拋製程。 JK系列拋光墊擁有高研磨穩定性、良好defect 表現，與優異的耐磨特性，幫助客戶在成本上進一步優化。 JOHO系列拋光墊，使用壽命與 RR 表現皆佳，並適用於各種機台。

應用範圍：Barrier CMP、Buffing、Cleaning、Virgin/Reclaim wafer、Sapphire、SiC、Quartz

CMP 周邊耗材產品

iVT 可依據客戶端機台、製程，進行客製化的產品開發與量產。產品種類括及Membrane、Pedestal film、Support film、Backing film、Hub pad、Roller 等。 CMP 周邊耗材產品已廣泛應用於半導體與光電產業，並成功協助客戶提升使用效能與節省成本。

應用範圍：Polisher and cleaner parts

公司簡介

智勝科技 iVT 的集團母公司 PVI，是做 PU 原料的專家，PU產品遍及許多運動器材、醫療保健、汽車及電子周邊，對於PU原料的開發技術早已相當熟悉。

因此，藉由對 PU 原料技術厚實的經驗，花了2年的時間分析專利並進行硏發，開發出可用於CMP硏磨墊的獨特的發泡技術，在2002年成立智勝科技 iVT，正式踏入CMP Pad製造領域。

智勝科技 iVT 在跨入市場初期，就達成了原本創立的初衷；成功幫助客戶節省生產成本，提供客戶 CMP 硏磨墊另一個更佳的選擇。

面對未來更高階的先進製程，智勝科技 iVT 將持續開發出更好的關鍵材料，提供更好的產品及優質的服務給客戶，在半導體製程前進的路程上貢獻一份心力。